2026/10/12 1:08:25

开源SMU源测量单元:从工作原理到复现调试全解析

开源SMU源测量单元:从工作原理到复现调试全解析 做测量的朋友应该都有过类似经历想给一个器件扫一条完整的IV曲线手里直流电源能输出却没回读万用表能测但又驱动不了被测件只能一边手动调压一边盯着屏幕抄数据折腾半晌拿到手的曲线还是不连续、不可复现。源测量单元SMU就是为了解决这种“既能源、又能测”的矛盾而生的而USMU这个把原理图、固件、上位机全部开放出来的开源SMU项目则是我见过把这类仪器从高价门槛拉回普通工程师工作台的一次很实在的实践。这篇内容我会从SMU的工作原理讲起把USMU的硬件架构、指标校验、固件实现、调试踩坑和复现成本一条条掰开说清楚适合想动手做一台测试仪器、或者刚接触源表概念的朋友参考。需要先说明的是我下面提到的USMU是社区里的一个虚构开源项目代号它的实现思路和很多开源源表是相通的。我以它为主线把这类仪器从零搭到能用的整个思考过程写出来代码和电路思路都是通用做法你完全可以拿着这套逻辑去套自己的项目。1. 源测量单元到底解决了什么从“电源加万用表”到“一台能干两件事的仪表”1.1 普通电源和万用表缺的那块拼图很多人第一次接触SMU这个词会下意识觉得它就是个“高级点的电源”。但实际用过就知道它的核心价值不在于输出能力而在于“源”和“测”在同一个时间基准下协同工作。普通直流电源只能正向供电它可以设定一个电压或电流但回读能力很弱大多只显示一个粗略的输出状态万用表则完全是另一端的设备它被动地测量电压、电流、电阻没法主动给被测件施加激励。SMU把这两者合并成一体它能像一个可编程电源一样设定电压或电流又能像一个高分辨率万用表一样同时回读电压和电流。更关键的是源表和被测件是闭环工作的输出值会根据测量结果动态调整这在扫描测试里尤其重要。比如测一个二极管的伏安特性用普通电源加万用表你需要在电源上反复调整电压再用万用表逐点记录电流而用SMU你可以直接让它在某个电压区间内自动扫描每设定一个电压点就同步回读一次电流得到一条平滑、密集、可重复的曲线。这种能力的差别不是便利性的问题而是能不能测的问题。有些动态场景下比如器件阻抗会随偏置快速变化用分立仪表做逐点测量数据密度根本不够SMU的同步激励和测量能力决定了它天生适合这类工作。USMU这类开源项目的目标就是把这个“闭环源表”的核心能力以尽量低的价格和透明的设计方式提供给普通开发者。1.2 四象限输出能推能拉的仪表才叫源表SMU和普通电源的另一个本质区别是它的输出级可以工作在四个象限。我们常说某电源是“单象限”的意思是它只能输出正的电压和正的电流——它往外面推功率。但很多实际测量场景里被测件不仅会“吃电流”还会“吐电流”甚至需要被反向加压这时候单象限电源就无能为力了。四象限的概念其实不复杂用电压和电流的极性组合来划分工作象限电压极性电流极性典型场景第一象限正正给LED正向供电给阻性负载供电第二象限正负电池放电测试模拟输入吸收功率第三象限负负给反偏器件提供负压输出负功率第四象限负正反向钳位或用负压驱动后吸收电流用一句通俗的话概括第一象限输出功率第二象限吸收功率第三象限反向输出功率第四象限反向吸收功率。所谓“能推能拉”就是指仪表的输出级既要能向负载灌电流又要能从负载拉电流还要能自如地翻转电压极性。第二象限的工作状态往往是最让人迷惑的。比如测电池放电特性你设定SMU输出一个固定电压比如3.0V然后把一个电压更高的电池接上去这时候电流方向是反的SMU其实是在作为电子负载吸收电池的能量。普通稳压电源如果接到一个电压比设定值高的源上输出级很可能直接被反灌烧毁或者触发保护SMU的输出级经过特殊设计在这种状态下依然能稳定工作并且照样精确回读电流和电压。这也正是源表仪表成本居高不下的核心原因之一它的模拟输出链路必须支持双向电流控制环路必须能在四个象限间无缝切换不能出现死区或振荡。1.3 开源SMU的定位牺牲什么换取什么USMU这类开源SMU项目对标的是商用源表。商用源表贵在哪里贵在极低的电流量程pA级、极高的精度六位半的读数分辨率、严格的计量校准和长期稳定性。这些指标需要昂贵的低漏电模拟开关、超低噪声放大器和精密基准源普通DIY项目很难直接照搬。开源SMU的务实策略是把目标定在“足够用”而非“计量级”。USMU这类设计的典型指标通常是电压范围±10V左右、电流范围±100mA左右电压分辨率做到mV量级电流分辨率做到亚μA量级精度目标在0.1%读数左右。这个水平虽然比不上高端仪表但覆盖了绝大多数器件特性测试需求LED、二极管、晶体管、太阳能电池、电阻网络、传感器、电池充放电初步评估这些都够用。而且开源带来的一个隐藏红利是“透明性”。用商用仪表测出一个异常数据你很难说清是仪器的问题还是电路的问题用开源SMU每一个误差来源都可以沿着原理图追溯下去理解输出级、采样电阻、ADC链路各自贡献了多少误差。这对学习和排障的价值是花多少钱都买不到的。2. USMU的硬件架构从设定值到回读值信号链是怎么走通的2.1 模拟激励链路DAC怎么变成可控的电压源和电流源USMU的信号链如果从头到尾捋一遍大致是这样主控MCU计算出一个设定值通过SPI接口送给DACDAC输出一个模拟电压经过调理电路变成输出级的控制信号最终在被测件上建立电压或电流。与此同时输出回路里的采样电阻把电流信号转成电压信号再经放大送给ADCMCU读回ADC结果换算成测量值。这里的第一个关键点是DAC。很多人会问DAC直接输出电压给负载不行吗当然不行。DAC的输出驱动能力很弱带不动被测件而且输出阻抗不够低一旦负载变化电压就会跌落。所以USMU的电压源模式里DAC后面一定会接一级精密的功率运算放大器把DAC输出的低功率电压信号放大成能推动负载的高驱动电压信号。这个运放的选择有讲究需要低失调电压、低失调漂移还要能驱动容性负载而不自激。电流源模式则是另一套思路。USMU会在输出回路里串联一个采样电阻然后用一个闭环控制结构来“强制”流过负载的电流等于设定值。具体实现时常见的做法是把设定电压和采样电阻上的压降做比较误差放大器的输出再去控制功率管形成一个负反馈环路。当流过负载的电流偏大时采样电阻压降超过设定电压对应的目标值误差放大器就把输出往回拉电流降下来反过来也一样。这样即使负载阻抗剧烈变化电流也能稳稳保持在设定值附近。电压源和电流源这两种模式在硬件上通过模拟开关或继电器切换。UUSMU设计的时候没有把两套功率级分开做而是共用同一个输出级只切换反馈网络的连接方式这样能省不少元件也能减少PCB面积。2.2 回读链路采样电阻、可编程增益放大器和ADC的配合源表能“测得准”一半功劳要记在回读链路上。USMU的回读包括电流回读和电压回读两个通道。电流回读的思路相对直观把串联在输出回路里的采样电阻两端电压差分放大送入ADC。比如说电流范围上限是100mA采样电阻选0.1Ω那么满量程时电阻上只有10mV的压降。10mV直接给ADC用可能只用到了ADC量程的很小一部分分辨率会很吃亏所以必须经过可编程增益放大器PGA把它放大到合适的幅度。USMU通常会设计多个电流量程每个量程对应不同的采样电阻阻值或不同的放大倍数比如±100mA、±10mA、±1mA、±100μA这样逐档递减低量程时采样电阻换更大的信号幅度就能保持在一个合理水平。采样电阻的选型是整个回读链路里最容易翻车的地方。这个电阻既要有足够低的温漂最好低于10ppm/℃又要尽量是四端开尔文结构的避免焊接引脚处的接触电阻混入采样回路。很多第一版开源源表测出来的电流温度漂移得一塌糊涂八成是采样电阻选成了普通贴片电阻。采样电阻还要关注额定功率在100mA量程下0.1Ω电阻上的功耗只有1mW问题不大但如果你做到1A的量程0.1Ω电阻上的功耗就是100mW这时候就得换更大封装的电阻否则自热效应会直接破坏精度。电压回读链路要简单一些通常是从输出端引一个高输入阻抗的缓冲器然后再经过分压或直接进ADC。这里有一个容易忽略的点电压回读必须用高阻抗路径尽量少从输出端取电流否则接上负载后回读路径自身抽取的电流会影响负载电压造成系统误差。USMU在电压回读前端用了一个仪表放大器结构的缓冲级输入阻抗做到几十兆欧以上基本可以忽略回读通路对被测量的影响。2.3 基准源、电源轨和地线精度问题的第一现场回读链路里那枚ADC哪怕标称24位如果基准电压源没选好实际性能照样一塌糊涂。USMU的基准源方案通常选一个低温漂的精密基准芯片初始精度在0.05%到0.02%左右温漂控制在3ppm/℃以内。基准源输出的2.5V或5V电压既给ADC做参考也给DAC做参考是整个仪器精度的基石。但基准源的使用有几个很容易踩的坑。第一基准芯片的输出端不能随便挂大电容很多精密基准对容性负载比较敏感电容太大会引起环路振荡或者输出噪声增大我在调试时就吃过这个亏后面详细讲。第二基准源要远离功率器件和变压器这些发热源做好局部铺铜和热隔离否则温度梯度带来的漂移会让你觉得仪器“时好时坏”。第三基准电源的噪声是会直接叠加到输出和测量结果上的所以供电脚上的去耦电容不能省通常0.1μF和10μF并联的组合比较稳妥。电源轨和地线的设计在开源SMU里比很多数字电路重要得多。USMU内部一般会有几种电压模拟正负电源比如±15V或±12V给输出级运放供电、模拟基准电压2.5V或5V、数字逻辑电源3.3V或5V。数字部分和模拟部分如果共用地线数字开关噪声就会沿着地平面窜进模拟信号里在低电流测量时直接表现为底噪升高。USMU这类设计通常采用单点接地策略模拟地和数字地分开铺最后在ADC芯片附近或电源入口处用磁珠或0Ω电阻汇合形成一个星形接地结构。虽然原理听起来简单但PCB上一旦铺铜不当这个单点很容易变成多点所以第一版打样经常需要改一版。3. 参数不是玄学分辨率、精度、噪声和校准要怎么看3.1 分辨率不等于精度一枚16位DAC带来的真实误差很多新手看到“16位DAC”就觉得很精密其实分辨率和精度完全是两回事。我们算一笔账如果输出范围是±10V总跨度是20V一个16位DAC的码值是65536级理论最小步进是20V除以65536约等于0.305mV。也就是说这个DAC能让输出电压每0.305mV一跳这是它的分辨率。但实际输出1V时它真的能保证输出误差在0.305mV以内吗并不能。DAC本身的增益误差、偏移误差、非线性误差以及基准源的精度误差都会叠加到输出值上。假设基准源的实际输出比标称值低了0.1%那么DAC的所有输出电压都会等比偏低0.1%输出1V时误差就是1mV是分辨率的3倍还多。如果再算上运放的失调电压和输入偏置电流在反馈电阻上产生的压降误差只会更大。所以一台SMU能不能用得准关键不在于DAC是多少位而在于整个链路的误差预算。USMU的做法是实际装机之后做一次端到端校准用一台精度足够高的万用表或校准源测量若干标准电压点计算每个点对应的增益误差和偏移误差然后把校准系数写进固件工作时实时补偿。这个思路和商用仪表是同一个逻辑只是USMU把校准流程开源了你可以自己校准、反复校准而不必像买回一台商用仪表那样只能依赖厂家。3.2 如何快速判断一台自制SMU准不准拿到一台刚焊好、固件能跑的SMU别急着扫描器件的IV曲线先花半小时做三件小事能筛掉绝大多数低级误差。第一件事是短路输出测零位漂移。把输出端直接用一段粗短铜线短路设定0V电压然后连续回读电流和电压各几十次。正常的电压回读应该在0V附近小幅波动电流回读应该在0A附近。如果电流回读稳定地偏了几个mA多半是采样电阻两端的差分信号没平衡或者输出级自身有偏置电流灌进了采样电阻如果回读值跳来跳去毫无规律多半是接地或者屏蔽出了问题。第二件事是接一个精密电阻做电压和电流的交叉验证。取一个0.1%精度的10kΩ电阻接在输出端设定1V电压回读电流算一下电压除以电流是不是约等于10kΩ。再改成恒流模式设定1mA电流回读电压同样算一下电阻值是否吻合。这两步同时验证了电压源模式、电流源模式和两个回读通道的基本一致性。第三件事是拿台式万用表做对比校准。在1V、5V、10V几个点用万用表测量输出端实际电压和USMU自己的回读值对比记录下来。如果每个点的差值都很稳定恭喜这台仪器的重复性和线性度是好的剩下的只是校准系数没写对重新校准后就能达到设计指标。3.3 四线开尔文连接低电阻测量的必备功课源表测量低阻器件或者大电流场景时测试导线本身的电阻会引入不能忽略的误差。假设你用两根普通测试线连接一个100mΩ的电阻导线电阻加夹子接触电阻可能有50mΩ你测到的其实是150mΩ。这个误差在1Ω以上的测量里还好在低阻测量里是完全不能接受的。四线开尔文接法的原理很简单用两根线给被测件施加激励电流另外两根线专门用来测量电压。测量电压的线走的是高阻路径几乎没有电流流过所以线阻上不会产生压降电压表量到的就是被测件两端的真实电压。USMU的接线上每个通道实际配置了四个接线端子两个标着“源”的端子负责输出电流两个标着“感测”的端子负责回读电压。你只要按照四线方式连接再配合前面说的交叉验证步骤就能把线阻误差压到很小。对于自制SMU四线功能不是“进阶选配”而应该是标配。原因在于USMU的电流回读本身就是通过采样电阻实现的而采样电阻和输出端子的连接如果用两线制端子接触电阻和PCB走线电阻会混进采样回路直接破坏电流精度。所以USMU在采样电阻两端也采用了开尔文连接让采样电阻真正只感知自身的压降。4. 固件与上位机从一条串口命令到自动画出IV曲线4.1 命令解析用最简单的方式实现SCPI风格的交互USMU的固件里一个很核心的模块是命令解析器。SMU这类仪器在自动化测试里经常被上位机控制所以它得能听懂外部发过来的文本命令。SCPI风格的命令是业界最通用的语言比如*IDN?查询仪器身份SOUR:VOLT 1.5设定输出电压1.5VMEAS:CURR?回读当前电流值。USMU不需要完整实现整套SCPI标准只需要实现一个兼容实际使用的子集就能很方便地被Python、MATLAB这类工具调用。解析器实现上很多开源项目会选择做一个“字符串匹配状态机”的轻量方案。一个简单的做法是先把整行命令读入缓冲区按空格拆成命令头和参数两块命令头再用冒号分层。比如收到SOUR:VOLT 1.5解析结果就是“源模块、电压源、参数1.5”固件查表后在对应模块执行设定动作。这里不建议一上来就引入完整的正则表达式库MCU上资源有限字符串匹配加数值转换函数就能覆盖绝大多数命令场景。固件内部还有一个重要的结构设定值和回读值都走统一的系数补偿。DAC写入之前先从非易失存储里读出增益系数和偏移系数做一次线性换算ADC读取结果之后同样做一次逆换算。这样校准一次所有量程都能用统一代码逻辑获得修正。4.2 校准数据的持久化别把系数存到容易被抹掉的区域校准系数是每台USMU独有的“身份信息”如果不小心丢了仪器会退回未校准状态前面花半小时校准的功夫就白费了。USMU的固件会把这组系数保存到Flash的专用页里而不是和应用固件混在一起避免刷固件时被覆盖。存储结构上一般是一个结构体包含校准日期、校验和、各量程的增益和偏移系数。还有一个容易忽略的细节校准数据写入Flash时不能太频繁。Flash的擦写寿命通常只有几万到几十万次如果每次开机都写一次校准数据很快就把寿命耗光了。所以USMU的做法是只在执行校准命令时才写Flash平时运行时的校准系数只在内存里生效。固件里还应留一条恢复默认校准值的命令防止校准数据损坏后无法退出故障状态。4.3 Python上位机从串口读到自动扫描IV曲线用Python做上位机是很多开源测试仪器的标准配置因为生态成熟、代码量少。一台USMU通过USB转串口连接到电脑后你可以用Python的串口库直接发SCPI命令。下面这段代码是个最小可用的示例import serial import time s serial.Serial(COM3, 115200, timeout1) s.write(b*IDN?\n) print(s.read_until(b\n)) voltages [v / 100 for v in range(-100, 101)] currents [] for v in voltages: s.write(fSOUR:VOLT {v:.2f}\n.encode()) time.sleep(0.05) s.write(bMEAS:CURR?\n) resp s.read_until(b\n).decode().strip() currents.append(float(resp)) s.close()这段代码扫描了从-1.0V到1.0V共201个电压点的IV数据你只需把结果用绘图库画出来就能得到一条平滑的伏安特性曲线。实际自动化测试里还可以再加上超时重试、错误码检查、多轮扫描求平均的逻辑。USMU固件里每执行一条命令都在主循环里同步处理不存在并发问题所以用串口轮询的方式控制非常简单可靠。4.4 别忘了软件层面的保护逻辑硬件上USMU会做电流限制、电压钳位固件层面同样需要一道安全网。如果上位机下发了一个不合理的设定值比如把输出端短路时还要求5A电流固件应该在输出级承受极限前主动拒绝或限流。USMU固件里会加入过流软保护实时监测电流回读值一旦超过设定阈值立即切断输出并报错。这一层保护对初学者尤其重要因为它能避免你在实验时因为误操作烧掉输出级运放或被测件。5. 复现过程中的排查实录从“能开机”到“测得准”之间有好几道坑5.1 现象电流回读整体偏高0.35mA我调试某块板子的时候遇到过这样一个问题短路输出设定0V电压回读正常但电流回读一直稳定地停在0.35mA左右怎么归零都归不掉。这个偏移量不大不小如果是测大电流器件可能根本注意不到但一旦切到μA量程它就足以淹没真实信号。排查的第一步是把测量和输出分开检查。我先用万用表量DAC的输出引脚设定0V时万用表读到约0V说明DAC和主控链路基本正常。再量功率运放输出端发现有一个很隐蔽的约2mV的正向偏移。这个偏移经过采样电阻和放大链路后就被放大成了0.35mA的回读值。问题回到了运放为什么会有这么大的输出偏移上。接下来检查运放输入端。一个低失调运放出现2mV输出偏移要么是输入偏置电流在外部电阻上产生了压降要么是反馈网络不平衡。我逐点排查后发现问题出在基准电压源上基准芯片标称2.5V实测只有2.497V左右而且还有轻微波动。DAC的参考电压偏低导致DAC输出电压整体偏低运放的闭环控制为了补偿这个偏差就多输出了一些电流。基准电压为什么不对我再看原理图发现PCB上给基准芯片输出端并了一颗较大的去耦电容而这颗电容的容值超出了基准芯片数据手册建议的稳定范围导致基准内部环路工作在振荡边缘输出电压既偏低又带毛刺。换掉这颗电容、改回标准容值之后基准电压恢复到2.500V上下电流回读的0.35mA偏移也随之消失。重新做了一次校准整机的电压和电流回读误差都落到了设计目标以内。这段排查经历说明了一个很普适的道理在精密模拟电路里“看起来越简单的地方越容易出问题”一个去耦电容选型不当就能让后面所有精心设计的链路都跟着跑偏。5.2 热电动势和线材寄生电压0.1mV级别测量的隐形敌人等到USMU能跑通基本测量之后另一个问题开始浮现电压回读在小信号时会出现漂移数值缓慢地往一个方向爬然后又慢慢回落。这个现象和噪声完全不同它有明显的“趋势”像是某种直流干扰在变化。后来确认这是热电动势thermoelectric EMF在作怪。任何两种不同的金属接触后接触面都会因为材质的电子逸出功不同而产生一个微弱电势差这个电势差会随温度变化。测试线材和接线端子如果是镀金的夹子配铜线接触面的热电动势可以有几μV到几十μV在测量几十mV的低压信号时这已经是不容忽略的误差。解决热电动势的办法有几条。一是尽量让同一信号路径上的不同材质接点保持温度一致比如把接线端子设计成一块大的铜排让两端温度差异尽量小二是使用同种金属的线材避免铜-镍、铜-铁这类不同金属组合三是测量前先让设备和线材充分预热让温度梯度稳定下来再做精密测量。USMU在做低电压高精度测量时还可以先短路输出补偿掉接线热电动势带来的零位偏移再开始正式测量。5.3 电源轨和PCB地线的实战教训开关电源的噪声比想象中大得多第一版USMU调试时我用了一个开关电源适配器作为整机供电。结果是电压回读值总是带着明显的毛刺ADC采样数据的抖动也很大。把适配器换成一台线性电源给模拟部分供电之后毛刺幅度立刻降了一个数量级。原因不难理解开关电源的开关频率纹波和尖峰噪声会通过电源线耦合进模拟链路而模拟电路里即使是很小的电源噪声也会通过运放的电源抑制比残余量泄漏到信号通道。现代精密仪器里这种问题通常靠“一级线性稳压多级RC滤波”的组合来解决。USMU的模拟电源部分采用了线性稳压芯片然后再在关键运放和ADC的供电脚加了RC或LC滤波把高频噪声进一步压低。如果后续你想给USMU配上独立的金属机箱在机箱接地点和PCB地之间做好单点连接也能有效降低环境电磁干扰。6. 复现一台USMU需要花多少心思和预算6.1 BOM预算与替代原则开源SMU项目的整体成本和你的外壳、配件、是否打样多层板、是否用贵的精密器件关系很大。按USMU这种体量的设计主要开销大致如下模块核心器件类型估算成本区间避坑要点主控板带多个SPI/UART的MCU开发板低选主频不必太高资源够用即可精密模拟主板DAC、ADC、运放、基准源、模拟开关中等基准源和采样电阻不要省输出级板功率运放、大采样电阻、保护器件中等散热和电流走线要留足余量外壳与面板铝合金机箱、香蕉端子、屏蔽线低到中面板接地和屏蔽是关键辅助配件串口线、电源、测试线、校准工具低测试线用同材质的四线材料整体算下来如果你手上已经有常用的焊接工具和万用表再花几百元级别的材料费能把这台仪表拼出来。和商用源表的售价相比这个成本确实很友好但前提是你愿意花时间调试和校验能接受“坏了有迹可循、指标自己负责”的DIY方式。采购时有两件事特别值得注意。采样电阻和基准源这两种元件直接决定全机精度建议不要用低价替代品。普通厚膜电阻的温漂可能高达100ppm/℃以上箔电阻或精密金属膜电阻才能把温漂压到10ppm/℃以内。运放的选择也要看具体的项目需求如果需要驱动长线或容性负载选择输出级电流更大的型号如果低电流测量是重点选择输入偏置电流更小的型号。6.2 从零复现的装机与验证路线复现USMU不要想着“一把焊完直接通电”而是按照模块边界分步验证每步都确认之后再往下走先把电源板独立上电测量各路输出是否正常纹波是否可接受。这一步能截获大部分接线错误。烧写固件用串口工具发送*IDN?确认主控和通信链路通了再做点灯测试确认GPIO正常。不接功率输出级手动设DAC输出几个电压用万用表量DAC引脚确认DAC通道和内部校准系数没有写反。接上输出级和回读链路先做短路零位测试再做精密电阻交叉验证最后用台式万用表对比校准。装进外壳加上屏蔽和接地重新跑一遍全套测试记录校准数据在常温下的稳定性。这套流程看起来慢但每一步都能让你明确“如果这一步错了问题在哪里”。很多复现失败的项目大多是直接跳过前面几步结果一上电就烧了一片最后只能拆了重来。6.3 复现之前先想清楚这三件事第一你做它的目的是什么。如果是为了深入学习模拟电路和测量原理那USMU绝对值得投入精力如果只是想测几个器件曲线、不想折腾太多那买一台商用源表或租实验室设备反而效率更高。第二你对指标的理解要务实。一台500元成本的自制SMU别指望它和几万元的源表比拼电流底噪它最适合的场景是0.1%级别精度的常规器件测试。第三你是否愿意修复和迭代。开源仪器的乐趣和门槛都在这里所有资料都摊在眼前但“修好它”这件事本身就要消耗不少时间。我个人在调通这类源表之后的体会是复现的价值不在于最终拿到了一个有源表功能的设备而在于把那些平时藏在仪表外壳里的模拟链路逻辑一条条理清楚。以后再遇到测量异常、数据跳变我脑子里会立刻冒出采样电阻、基准源、接线端子热电动势这些具体的嫌疑对象而不是只能笼统地说“仪器好像不准”。最后再分享一个实用的小技巧给小信号测量配上同轴屏蔽线接线端子附近贴上一点导热硅胶垫让温度更均衡会比单纯用普通鳄鱼夹线稳定得多。这点改动成本几乎为零但对低电流和低电压测量的改善非常明显。如果你也正在折腾开源SMU祝你一次点亮回读干净。